特許
J-GLOBAL ID：200903043423519700

真空排気系を利用したシリンダを用いたイオンビーム電流測定機構

発明者：
高堀 栄

高堀 栄 について

, 
武藤 宏史

武藤 宏史 について

, 
岩谷 徹

岩谷 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ

株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ について


代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-200443
公開番号（公開出願番号）：特開2007-018921
出願日： 2005年07月08日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】 イオンビーム測定子の移動を行うに際して、手間取らずに簡便に行うことのできるイオンミリング装置を提供する。【解決手段】 イオンビーム測定子が真空チャンバの内部に設けられ、該イオンビーム測定子に連結され、真空排気によって駆動される駆動部を有する他の真空排気系が真空チャンバに連通する真空排気系に連通して設けられ、かつ各真空排気系に一方が開のときに閉、閉のときに開となる弁がそれぞれ設けられる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
真空チャンバに取り付けられ、試料にイオンビームを照射するイオンビーム源と、試料を固定する試料ホルダを固定する試料ホルダ固定具と、前記試料ホルダ,該試料ホルダに固定された試料の一部を遮蔽するマスク,前記試料ホルダを回転する試料回転機構および前記マスクと試料との遮蔽位置関係を調整するマスク位置調整部から構成される試料マスクユニットと、および前記真空チャンバと真空排気装置とを排気管で結ぶ真空排気系とを備えたイオンミリング装置において、イオンビーム測定子が前記真空チャンバの内部に設けられ、該イオンビーム測定子に連結され、真空排気によって駆動される駆動部を有する他の真空排気系が前記真空排気系に連通して設けられ、かつ各真空排気系に一方が開のときに閉、閉のときに開となる弁がそれぞれ設けられることを特徴とするイオンミリング装置。
IPC (3件)：
H01J 37/305 ,  H01J 37/04 ,  G01N 1/28
FI (3件)：
H01J37/305 A ,  H01J37/04 A ,  G01N1/28 F
Fターム (9件)：
2G052AA11 ,  2G052AA14 ,  2G052AA15 ,  2G052EC18 ,  2G052GA34 ,  2G052GA35 ,  5C030AA02 ,  5C030AB05 ,  5C034BB10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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