特許
J-GLOBAL ID：200903043559133589
画像相関変位計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-141597
公開番号（公開出願番号）：特開2009-288108
出願日： 2008年05月29日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：
【課題】画像相関変位計の測定範囲を拡大する。【解決手段】コヒーレント光(投光ビーム24)の照明手段(レーザ20、コリメートレンズ22)を備え、コヒーレント光の照明により得られるスペックルパターンの取得画像Aと基準画像Rの相関から、測定対象(ワーク10)の面内変位を測定する画像相関変位計において、複数の基準画像Rを記憶する手段(基準画像記憶部36)と、該複数の基準画像Rの一つを用いて、取得画像Aとの相関をとる手段(相関処理部38)とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
コヒーレント光の照明手段を備え、コヒーレント光の照明により得られるスペックルパターンの取得画像と基準画像の相関から、測定対象の面内変位を測定する画像相関変位計において、
複数の基準画像を記憶する手段と、
該複数の基準画像の一つを用いて、取得画像との相関をとる手段と、
を備えたことを特徴とする画像相関変位計。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2F065AA09
, 2F065FF41
, 2F065FF56
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG22
, 2F065GG24
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL30
, 2F065QQ24
, 2F065QQ38
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
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