液晶表示パネル用基板及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小野由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-015636
公開番号（公開出願番号）：特開2003-046090
出願日： 2002年01月24日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】液晶表示パネル用基板及びその製造方法を提供する。【解決手段】ゲートパターンを絶縁するためのゲート絶縁膜上に、第1不純物領域、第2不純物領域、及びチャンネル領域を含む活性層パターンを形成し、ドレーン電極、ソース電極及びゲート配線と直交するデータ配線を含むデータパターンを形成し、保護膜の第1コンタクトホールを通じて、画素領域のドレーン電極と連結される第1電極パターン、第2、第3コンタクトホールを通じて、周辺領域の第1トランジスターのゲート電極と第2トランジスターのソース/ドレーン電極を連結する第2電極パターンを含む電極パターン部を形成する。

請求項（抜粋）：

投光性絶縁基板上の画素領域と周辺領域に各々形成されたゲート配線と、前記ゲート配線から分岐されたゲート電極を含むゲートパターンと、前記ゲートパターンが形成された前記基板上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成され、第1不純物領域、第2不純物領域、前記第1不純物領域及び第2不純物領域との間に形成されたチャンネル領域を含むする活性層パターンと、前記活性層パターンと前記ゲート絶縁膜の上に形成され、前記第1不純物領域とコンタクトするドレーン電極、前記第2不純物領域とコンタクトするソース電極及び前記ドレーン電極と連結されるデータ配線を含むデータパターンと、前記データパターンが形成された基板上に形成され、前記ドレーン電極を部分的に露出する第1コンタクトホール、前記周辺領域の第1トランジスターのゲート電極を露出する第2コンタクトホール及び前記周辺領域の第2トランジスターのソース/ドレーン電極を露出する第3コンタクトホールを含む第1層間絶縁膜と、前記第1層間絶縁膜上に形成され、前記第1コンタクトホールを通じて、前記画素領域のドレーン電極と連結される第1電極パターン、前記第2、第3コンタクトホールを通じて、第1トランジスターの露出された前記ゲート電極と前記第2トランジスターの露出されたソース/ドレーン電極を連結する第2電極パターンを含む電極パターン部とを含むことを特徴とする液晶表示パネル用基板。

IPC (8件)：

H01L 29/786 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 310 , G09F 9/30 338 , G09F 9/35 , H01L 21/28 301 , H01L 21/3205

FI (10件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 310 , G09F 9/30 338 , G09F 9/35 , H01L 21/28 301 Z , H01L 29/78 612 C , H01L 21/88 B , H01L 21/88 N , H01L 29/78 612 B

Fターム (101件)：

2H092GA59 , 2H092HA04 , 2H092HA05 , 2H092JA29 , 2H092JA33 , 2H092JA35 , 2H092JA39 , 2H092JA40 , 2H092JA46 , 2H092JB57 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KA18 , 2H092KB13 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092PA01 , 2H092PA06 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB06 , 4M104BB13 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD16 , 4M104DD37 , 4M104EE03 , 4M104EE16 , 4M104EE17 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 5C094AA43 , 5C094AA45 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094GB10 , 5F033GG04 , 5F033HH10 , 5F033HH17 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ10 , 5F033JJ38 , 5F033KK05 , 5F033MM05 , 5F033PP15 , 5F033QQ37 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR27 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX33 , 5F110AA04 , 5F110AA16 , 5F110AA26 , 5F110BB02 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD13 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG35 , 5F110GG45 , 5F110HK04 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK21 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK35 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HM18 , 5F110HM19 , 5F110NN03 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5G435AA17 , 5G435BB17 , 5G435CC09 , 5G435KK05 , 5G435KK09

引用特許：

審査官引用 (11件)

液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-216427 出願人：エルジー電子株式会社
ドライバーモノリシック駆動素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-144325 出願人：シャープ株式会社
液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-338138 出願人：三星電子株式会社

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