特許
J-GLOBAL ID:200903043641587539

ベクトルネットワークアナライザを用いた測定方法及びその校正方法並びにプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 成瀬 重雄 ,  大木 健一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-225467
公開番号(公開出願番号):特開2009-058348
出願日: 2007年08月31日
公開日(公表日): 2009年03月19日
要約:
【課題】 ベクトルネットワークアナライザ(VNA)の測定に必要なシステムパラメータの数を大幅に削減し、作業性及び実用性を向上させる。【解決手段】 従来の測定方法は電力比W=a2/a1の複素平面における3つの円の交点に基づくものであったが、本発明はSパラメータのS平面における3つの円の交点に基づく。6ポート接合の入力ポートP1にのみ波を加えた場合における3つの出力ポートの電力比3K4, 3K5, 3K6(実数システムパラメータ)と、DUTにのみ波を加えた場合における3つの出力ポートの複素振幅比3k4, 3k5, 3k6(複素数システムパラメータ)を使用してSパラメータを求める。本発明では、測定系の特性τjkはキャンセルされて前記システムパラメータに影響を与えることがなく、Sjkごとにシステムパラメータを決める必要がない。これにより、システムパラメータ数を大幅に減らすことができた。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
マイクロ波帯、ミリ波帯、サブミリ波帯や赤外線、可視光線、紫外線などの高周波信号を発生する電源からの波を2つに分け、一方を6ポート接合の入力ポートP1に、他方を被測定デバイスに入力するとともに、前記被測定デバイスを通過した波又は前記被測定デバイスで反射された波を前記6ポート接合の入力ポートP2に入れ、この状態で前記6ポート接合の4個の電力計測用の出力ポートP3乃至P6それぞれの検波出力を測定し、その結果に基づき前記被測定デバイスに関するベクトル量を測定するベクトルネットワークアナライザを用いた測定方法であって、 出力ポートP3乃至P6のいずれかひとつを基準としたときの他の3つの出力ポートの電力比3P4d, 3P5d, 3P6dを測定するDUT測定ステップと、 前記被測定デバイスに代えて、通過特性又は反射特性が既知である標準器を接続し、前記標準器に関して、前記他の3つの出力ポートの電力比3P4s, 3P5s, 3P6sを測定する標準器測定ステップと、 前記6ポート接合の入力ポートP1にのみ波を加えた場合における、前記他の3つの出力ポートの電力比3K4, 3K5, 3K6(以下、これらを「実数システムパラメータ」と呼ぶ)、及び、前記被測定デバイス又は前記標準器にのみ波を加えた場合における、前記他の3つの出力ポートの複素振幅比3k4, 3k5, 3k6(以下、これらを「複素数システムパラメータ」と呼ぶ)が予め与えられ、前記電力比3P4d, 3P5d, 3P6d、前記電力比3P4s, 3P5s, 3P6s、前記実数システムパラメータ及び前記複素数システムパラメータに基づき前記被測定デバイスのSパラメータを計算により求める計算ステップと、を備えるベクトルネットワークアナライザを用いた測定方法。
IPC (3件):
G01R 27/28 ,  G01R 35/00 ,  G01R 27/06
FI (3件):
G01R27/28 Z ,  G01R35/00 J ,  G01R27/06
Fターム (9件):
2G028CG15 ,  2G028CG18 ,  2G028DH15 ,  2G028DH17 ,  2G028FK07 ,  2G028GL02 ,  2G028GL03 ,  2G028GL12 ,  2G028MS02
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
引用文献:
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