特許
J-GLOBAL ID：200903043781086750
ガス中の微量成分計測装置及び方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
光石 俊郎
, 光石 忠敬
, 田中 康幸
, 松元 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-207915
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053294
出願日： 2002年07月17日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】ガス中の微量元素成分濃度を計測する装置及び方法を提供することを課題とする。【解決手段】燃料ガス11の供給・排出ライン12,13を備えた減圧セル14と、該減圧セル14内に供給されたガス11中の微量成分をプラズマ化するプラズマ化手段15と、一定のディレイ時間を経た後に、上記プラズマ化により発生したプラズマ光16を分光器17で分光し、該分光器17により分光して得られたプラズマスペクトルのうち、波長175乃至850nmの発光強度のみを検出する検出手段18とを具備する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ガスの供給・排出ラインを備えた減圧セルと、
該減圧セル内に供給されたガス中の微量成分をプラズマ化するプラズマ化手段と、
一定のディレイ時間を経た後に、上記プラズマ化により発生したプラズマ光を分光し、分光して得られたプラズマスペクトルのうち、波長175乃至850nmの発光強度のみを検出する検出手段とを具備することを特徴とする微量成分計測装置。
IPC (4件)：
G01N21/63
, G01N21/67
, G01N21/71
, H01M8/04
G01N21/63 A
, G01N21/67 A
, G01N21/71
, H01M8/04 Z
2G043AA01
, 2G043BA01
, 2G043BA04
, 2G043BA05
, 2G043CA01
, 2G043DA01
, 2G043DA08
, 2G043EA09
, 2G043EA10
, 2G043FA06
, 2G043GA25
, 2G043GB21
, 2G043HA01
, 2G043JA01
, 2G043KA01
, 2G043KA02
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043LA03
, 5H027AA06
, 5H027BA01
, 5H027BA16
