特許
J-GLOBAL ID：200903043807252638

感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及び永久レジスト

発明者：
名越 俊昌

名越 俊昌 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-128252
公開番号（公開出願番号）：特開2009-276597
出願日： 2008年05月15日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：
【課題】LDI方式に適用した場合でも優れた感度が得られ、且つ、充分な保管安定性を有し、アンダーカットやオーバーハング等のない良好なレジスト形状を有するレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物、感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及び永久レジストを提供する。【解決手段】(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する感光性プレポリマー、(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、及び(d)熱硬化剤を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(d)熱硬化剤が一般式(1)で表されるマレイミド化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する感光性プレポリマー、(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマー、(c)光重合開始剤、及び(d)熱硬化剤を含有する感光性樹脂組成物であって、 前記(d)熱硬化剤が、下記一般式(1)で表されるマレイミド化合物を含有する、感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/28
FI (6件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/033 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 512 ,  H05K3/28 D
Fターム (27件)：
2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC43 ,  2H025BC66 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025CA09 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC08 ,  2H025CC12 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  5E314AA27 ,  5E314AA36 ,  5E314BB06 ,  5E314FF06 ,  5E314GG11 ,  5E314GG26
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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