特許
J-GLOBAL ID：200903043844719830

レーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡のオートフォーカス方式

発明者：
森田 成司

森田 成司 について

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佐藤 光義

佐藤 光義 について

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上本 敦

上本 敦 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-184697
公開番号（公開出願番号）：特開2003-007243
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2003年01月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 粒子欠陥を走査型電子顕微鏡で観察する際に、フォーカス点が合った状態を時間と手間をかけずに確保できる機能を提供する。【解決手段】 先ず光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡のフォーカス位置のずれを正確に把握しておき、光学顕微鏡のレーザ暗視野像で欠陥を検出した後該暗視野像を解析することにより該光学顕微鏡のフォーカスを取り直し、高さを合わせ、走査型電子顕微鏡による観察に移る。この際に前記オフセット量に前記光学顕微鏡の調整量を加えて自動的に走査型電子顕微鏡の焦点合わせを行うようにした。また、光学顕微鏡のフォーカスを取り直すための暗視野像の解析は、欠陥面積が最小となるところ若しくは欠陥部の輝度が最も明るくなるところまたは画面内を微分走査し最大微分値が得られたところのいずれか、またはその組合せとし、粒子欠陥検査は、画面中の1つ若しくは複数または全ての欠陥を抽出するモードの選択を可能とした。
請求項（抜粋）：
光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡のフォーカス位置のずれ(オフセット)量を正確に把握しておき、光学顕微鏡のレーザ暗視野像で欠陥を検出した後該暗視野像を解析することにより該光学顕微鏡のフォーカスを取り直し高さを合わせるステップと、走査型電子顕微鏡による観察に移る際に前記オフセット量に前記光学顕微鏡のフォーカス調整量を加えて自動的に走査型電子顕微鏡のフォーカス調整を行うステップとからなるレーザ欠陥検出機能を備えた走査型電子顕微鏡のオートフォーカス方法。
IPC (6件)：
H01J 37/21 ,  G01R 31/302 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/66 ,  G01R 31/02
FI (6件)：
H01J 37/21 B ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/22 502 L ,  H01L 21/66 J ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/28 L
Fターム (25件)：
2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB51 ,  2G014AB59 ,  2G014AC07 ,  2G132AA00 ,  2G132AD15 ,  2G132AF14 ,  2G132AL09 ,  2H052AA07 ,  2H052AC06 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD09 ,  2H052AF10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA05 ,  4M106CA38 ,  4M106DB08 ,  4M106DB14 ,  4M106DB18 ,  4M106DB20 ,  4M106DB21 ,  5C033MM03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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