特許
J-GLOBAL ID：200903043878807681

メタルマスク用フレーム及びその製造方法

発明者：
佐野 敏弘

佐野 敏弘 について

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土屋 輝直

土屋 輝直 について

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山田 淳一

山田 淳一 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 乗松 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-143429
公開番号（公開出願番号）：特開2006-322015
出願日： 2005年05月17日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：
【課題】 窓枠形状のフレームに、テンションを掛けた状態のメタルマスクを固定、保持させた形態の蒸着用のマスクユニットにおいて、フレームの軽量化を図る。【解決手段】 窓枠形状の薄板13bにエッチングにより多数の穴31を形成しておき、その薄板13bを多数枚積層し、熱拡散結合により一体化することで、一体構造のフレーム13を形成し、穴31の存在によって軽量化を図る。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
メタルマスクを取り付けるための窓枠形状のフレームであって、多数の穴を形成した窓枠形状の薄板を複数枚積層して接合し、一体化したことを特徴とするメタルマスク用フレーム。
IPC (7件)：
C23C 14/04 ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/50 ,  C23C 14/56 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (7件)：
C23C14/04 A ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 G ,  C23C14/50 F ,  C23C14/56 J ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BC05 ,  4K029BC07 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029DB06 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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