電源電流測定ユニット及び半導体テストシステム

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-089520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324552
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】半導体試験システムに備えられ、被試験デバイスの電源電流を高速でかつ正確に測定できる電源電流測定ユニットを提供する。【解決手段】この電源電流測定ユニットは、入力されたディジタル信号に基づいて被試験デバイスに与える電源電圧を発生するDAコンバータと、負帰還ループを形成し、そのDAコンバータからの電源電圧を被試験デバイスの電源ピンに与えるとともに、その電源ピンに電源電流を既知の値の測定抵抗を通して供給する演算増幅器と、その演算増幅器が被試験デバイスに供給する電源電流値をあらわす電圧値を増幅する電圧増幅器と、その電圧増幅器の出力信号を所定時間にわたって積分するための積分回路と、その所定時間の経過後にその積分回路の出力信号をディジタル信号に変換するADコンバータとにより構成される。

請求項（抜粋）：

半導体試験システムに備えられて、被試験デバイスの電源電流を測定するための電源電流測定ユニットにおいて、入力されたディジタル信号に基づいて被試験デバイスに与える電源電圧を発生するDAコンバータと、負帰還ループを形成し、そのDAコンバータからの電源電圧を被試験デバイスの電源ピンに与えるとともに、その電源ピンに電源電流を既知の値の測定抵抗を通して供給する演算増幅器と、その演算増幅器が被試験デバイスに供給する電源電流値をあらわす電圧値を増幅する電圧増幅器と、その電圧増幅器の出力信号を所定時間にわたって積分するための積分回路と、その所定時間の経過後にその積分回路の出力信号をディジタル信号に変換するADコンバータと、を具備した電源電流測定ユニット。

IPC (4件)：

G01R 31/319 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , G01R 31/3183

FI (5件)：

G01R 31/26 B , G01R 31/28 R , G01R 31/28 H , G01R 31/28 M , G01R 31/28 Q

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-135881
半導体試験システム用電力供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-041949 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
自動テスト装置用イベントシーケンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224453 出願人：シュルンベルジェテクノロジーズ,インコーポレイテッド

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