特許
J-GLOBAL ID：200903044276742682
エッチング加工構造及びエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鷲田 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-291011
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124194
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 自由な加工形状を実現することができ、特に、開口部に金属配線を形成したときに断線を防止できること。【解決手段】 開口部の側壁部は、第1の基板の表面103に近いほうから第1の領域108及び第2の領域109で構成されている。この場合、第2の領域109が基板表面103となす角度をα、第1の領域108が基板表面103となす角度をβとすると、α<βとなることが好ましい。
請求項（抜粋）：
被加工物の表面に対してドライエッチングを施すことにより開口部を形成してなるエッチング加工構造であって、前記開口部の側壁が前記被加工物の表面と連接する第1の領域面及びこの第1の領域面と連接する第2の領域面を有しており、前記第1の領域面と前記表面とのなす角度が前記第2の領域面と前記表面とのなす角度よりも大きいことを特徴とするエッチング加工構造。
IPC (3件)：
H01L 21/3065
, C23F 4/00
, H01P 11/00
H01L 21/302 B
, C23F 4/00 A
, H01P 11/00 L
4K057DA18
, 4K057DA20
, 4K057DB06
, 4K057DB20
, 4K057DD01
, 4K057DE06
, 4K057DE08
, 4K057DE14
, 4K057DE20
, 4K057DG02
, 4K057DG07
, 4K057DG08
, 4K057DG12
, 4K057DG15
, 4K057DM20
, 4K057DN01
, 5F004AA11
, 5F004AA12
, 5F004AA16
, 5F004CA01
, 5F004CA02
, 5F004CA03
, 5F004CA04
, 5F004DA00
, 5F004DA01
, 5F004DA04
, 5F004DA16
, 5F004DA18
, 5F004DA24
, 5F004DA26
, 5F004DB00
, 5F004DB01
, 5F004DB20
, 5F004EA13
, 5F004EA28
