特許
J-GLOBAL ID：200903044289489838
プラズマ処理容器内部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-124838
公開番号（公開出願番号）：特開2009-185391
出願日： 2009年05月25日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】プラズマ処理時における水分の離脱が生じ難いプラズマ処理容器内部材を提供すること。【解決手段】基材81と、その表面に形成された被膜82とを有するプラズマ処理容器内部材であって、被膜82は、周期律表第3a族に属する少なくとも1種の元素を含むセラミックスからなり、被膜82の少なくとも一部分に、蒸気または高温水によって水化処理された水化処理部82aを形成する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
基材と、その表面に形成された被膜とを有するプラズマ処理容器内部材であって、
前記被膜は、周期律表第3a族に属する少なくとも1種の元素を含むセラミックスからなり、前記被膜の少なくとも一部分が蒸気または高温水によって水化処理されていることを特徴とする、プラズマ処理容器内部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C28/04
, H01L21/302 101G
4K044AA06
, 4K044AB10
, 4K044BA12
, 4K044BA21
, 4K044BB01
, 4K044BB03
, 4K044BB04
, 4K044BB05
, 4K044BC02
, 4K044CA11
, 4K044CA13
, 4K044CA14
, 4K044CA17
, 4K044CA64
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BA06
, 5F004BB22
, 5F004BB29
