特許
J-GLOBAL ID：200903044363048954
一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-543930
公開番号（公開出願番号）：特表2001-520803
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 2001年10月30日
要約：
【要約】ポッドをX-Z平面内で、ベイ間搬送システムと、種々のプロセスツール(102)のI/Oポート(104)と、ツールベイの壁に沿って設けられた複数の保管棚(106)との間で独力で搬送できる一対のシャットル(116)を含む一貫生産型(統合型)ベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム。有利には、本発明により、各プロセスツール(102)が単一の搬送機構を共用すると共に各プロセスツール(102)がポッド用の単一の大型保管兼一時収納領域を共用するようにすることによりプロセスツール(102)がツールベイ内にひとまとめに組み込まれる。これにより、信頼性及び融通性が向上し、しかもハードウエア及びソフトウエアによる制御が簡単になる。さらに、保管棚(106)をツールベイ内でプロセスツール(102)のうち幾つか又は全ての上方に設けるのがよい。このように配置することにより、従来型ツールベイと比較して実質的に多数のポッド保管スペースが得られる。
請求項（抜粋）：
半導体ツールベイ内で複数のポッドを複数の半導体プロセスツールの入力/出力(I/O)ポートに供給するシステムであって、 プロセスツールを収納したツールベイの壁に沿って設けられた複数の保管場所を有し、 前記複数の保管場所は各々、ポッドをツールベイ内の任意のプロセスツールに供給できることを特徴とするシステム。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 501
, B65G 1/00 535
H01L 21/68 A
, B65G 1/00 501 A
, B65G 1/00 535
