特許
J-GLOBAL ID:200903044730902231

ダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件): 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-300481
公開番号(公開出願番号):特開2009-127059
出願日: 2007年11月20日
公開日(公表日): 2009年06月11日
要約:
【課題】シンプルな工程で、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の付着強度を向上させることができるダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法を提供する。【解決手段】ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)基板11の表面をプラズマ照射により改質し、この改質されたPTFE基板11の表面に、化学気相蒸着法によりダイヤモンドライクカーボン膜12を形成する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
ポリテトラフルオロエチレンからなる基材の表面をプラズマ照射により改質する表面改質工程と、 プラズマ照射により改質された前記基材の表面に、化学気相蒸着法によりダイヤモンドライクカーボン膜を形成する膜形成工程と を含むことを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。
IPC (2件):
C23C 16/02 ,  C23C 16/27
FI (2件):
C23C16/02 ,  C23C16/27
Fターム (7件):
4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030CA02 ,  4K030CA07 ,  4K030DA02 ,  4K030FA03 ,  4K030LA23
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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