液晶マトリックス投影露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-065738
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231618
出願日： 2001年02月02日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】液晶マトリックス投影露光における、液晶セルの接続部やセル中の不透過部に起因する転写パタンの突起やくびれをなくし、偏光に起因するパタンのでき方の方位依存性をなくす。【解決手段】液晶パネルで指定した明暗分布を、光ファイバーテーパコンジットまたは光ファイバープレートまたは微小レンズアレイを介して液晶セルの接続境界やセル中のTFT等の不透過部が目立たない光像に変換してから投影露光する。また、前記光像に変換する際、光ファイバーテーパコンジットや光ファイバープレートを構成する光ファイバー素線中や微小レンズアレイを構成する要素レンズを露光光線が通過するうちに偏光面をランダムに回転させ、射出した露光光線が方位性を持たないようにする。

請求項（抜粋）：

液晶パネルと、前記液晶パネルを照明する照明光学系と、前記液晶パネルに指定したパタン形状に対応して射出される前記照明光の液晶パネル透過光が入射するように前記液晶パネルに密着または近接させて配置した光ファイバーテーパコンジットと、前記光ファイバーテーパコンジットの射出面を被露光基板面に投影する投影光学系とを有し、前記液晶パネルに指定したパタン形状に対応した形状に前記被露光基板を投影露光することを特徴とする液晶マトリックス投影露光装置

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G02F 1/13 505 , G02F 1/1335 , G03F 1/08 , G03F 7/20 521

FI (6件)：

G02F 1/13 505 , G02F 1/1335 , G03F 1/08 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 515 F

Fターム (13件)：

2H088EA12 , 2H088HA08 , 2H088HA25 , 2H088MA20 , 2H091FA26X , 2H091GA13 , 2H091LA30 , 2H091MA07 , 2H095BB01 , 5F046AA25 , 5F046BA03 , 5F046CB04 , 5F046CB17

引用特許：

審査官引用 (6件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-073029 出願人：ローム株式会社
露光装置及びこれを用いたデバイス生産方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-167377 出願人：キヤノン株式会社
パターン転写装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-058500 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る