容量式圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮川宏一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-177359
公開番号（公開出願番号）：特開2008-008688
出願日： 2006年06月27日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

【課題】断線検出を確実に行うことにより信頼性を高めた圧力センサを提供する。【解決手段】被測定媒体の物理量の変化に応じて互いの容量の相対的関係が変化する2つの容量を測定することで被測定媒体の物理量の変化を測定する容量式圧力センサにおいて、各容量の単独の値(CX、CY)をそれぞれ計測し、かつ各容量の値のうち少なくとも何れか一方の容量値が前記容量式圧力センサの通常の動作範囲で示す容量値(A)を下回った時に断線異常と判断する機能を備え、これにより、断線検出を確実に行うことにより信頼性を高めた圧力センサを提供する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

被測定媒体の物理量の変化に応じて互いの容量の相対的関係が変化する2つの容量を測定することで被測定媒体の物理量の変化を測定する容量式圧力センサにおいて、前記各容量の単独の値をそれぞれ計測し、かつ前記各容量の値のうち少なくとも何れか一方の容量値が前記容量式圧力センサの通常の動作範囲で示す容量値を下回った時に断線異常と判断する機能を備えたことを特徴とする容量式圧力センサ

IPC (1件)：

G01L 9/00

FI (1件)：

G01L9/00 305U

Fターム (9件)：

2F055AA40 , 2F055BB01 , 2F055BB03 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD19 , 2F055EE25 , 2F055FF31 , 2F055GG43

引用特許：

出願人引用 (1件)

圧力センサおよび圧力センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-298160 出願人：株式会社山武

審査官引用 (7件)

容量式圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-149137 出願人：株式会社山武
静電容量式圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-354982 出願人：山武ハネウエル株式会社
容量式センサ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-117913 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立カーエンジニアリング

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