特許
J-GLOBAL ID：200903045001685294
光学系及びそれを用いた投影装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322326
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214382
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 投影光学系の軸上コマ収差や縦横倍率差の補正が可能な光学系及びそれを用いた投影装置を得ること。【解決手段】 光軸14回りに回動でき且つ傾動できる、シリンドリカル面及び/又はトーリック面を持つ光学素子13によりレンズ17の縦横倍率差と軸上コマ収差と球面収差を補正する。
請求項（抜粋）：
収差を変更できる光学系であって、前記光学系の光軸回りに回動でき且つ傾動できる、シリンドリカル面及び/又はトーリック面を持つ光学素子を有することを特徴とする光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 13/08
, H01L 21/30 515 D
