特許
J-GLOBAL ID：200903045114482195

表面検査装置および表面検査方法

発明者：
大谷 俊哉

大谷 俊哉 について

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石倉 靖久

石倉 靖久 について

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伊倉 恒生

伊倉 恒生 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-116891
公開番号（公開出願番号）：特開2006-292668
出願日： 2005年04月14日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：
【課題】フラットディスプレイパネル基板に形成された塗布膜等の大面積の被検査物表面形状を短時間かつ低コストで検査する。【解決手段】点光源12と、点光源12から発せられた出射光13の光路上に設けられたハーフミラー14と、ハーフミラー14の後方に配置され、ハーフミラー14により折り曲げられて塗布膜11に照射され塗布膜11表面で反射するとともにハーフミラー14により点光源12とは別の光路に導かれた反射光15を投影するための、塗布膜11よりも広い面積を有するスクリーン16と、反射光15によってスクリーン16に投影された塗布膜11の表面状態を表す画像を観察するためのCCDカメラ19とを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
点光源と、 前記点光源から発せられた光の光路上に設けられ、前記光をその光路を変えて被検査物表面に照射するように設けられたハーフミラーと、 前記被検査物表面に照射され、前記被検査物表面で反射した後前記ハーフミラーを通過した前記光を投影するために前記ハーフミラーの後方に設けられたスクリーンと を備えた表面検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/88
FI (3件)：
G01B11/30 A ,  G01M11/00 T ,  G01N21/88 Z
Fターム (22件)：
2F065AA47 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG02 ,  2F065GG12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30 ,  2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA20 ,  2G051CB01 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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