特許
J-GLOBAL ID:200903045185176567

振動型ジャイロスコープ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-356767
公開番号(公開出願番号):特開2004-191094
出願日: 2002年12月09日
公開日(公表日): 2004年07月08日
要約:
【課題】基部、駆動振動系および複数の検出振動系を備える振動子を用いて回転角速度を測定する振動型ジャイロスコープにおいて、駆動側パッドと検出側パッドとの間の静電結合に起因するノイズを低減する。【解決手段】振動子が、基部1、基部1から突出する駆動振動系および複数の検出振動系を備えている。振動型ジャイロスコープが、駆動振動系に形成されている駆動側信号電極および駆動側接地電極、各検出振動系にそれぞれ形成されている検出側信号電極および検出側接地電極、駆動側信号電極に対応して基部1に形成されている駆動側信号パッド2A、駆動側接地電極に対応して基部1に形成されている駆動側接地パッド3A、検出側信号電極に対応して基部1に形成されている検出側信号パッド4A、4B、および検出側接地電極に対応して基部1に形成されている検出側接地パッド5A、5Bを備えている。駆動側信号パッド2Aと駆動側接地パッド3Aとを結ぶ直線Xに対して、複数の検出側信号パッド4A、4Bが互いに線対称の位置に配置されている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
振動子を備えている振動型ジャイロスコープであって、 前記振動子が、基部、この基部から突出する駆動振動系および前記基部から突出する複数の検出振動系を備えており、 前記振動型ジャイロスコープが、前記駆動振動系に形成されている駆動側信号電極および駆動側接地電極、前記検出振動系にそれぞれ形成されている検出側信号電極および検出側接地電極、前記駆動側信号電極に対応して前記基部に形成されている駆動側信号パッド、前記駆動側接地電極に対応して前記基部に形成されている駆動側接地パッド、前記検出側信号電極に対応して前記基部に形成されている検出側信号パッド、および前記検出側接地電極に対応して前記基部に形成されている検出側接地パッドを備えており、前記駆動側信号パッドと前記駆動側接地パッドとを結ぶ直線に対して、複数の前記検出側信号パッドが互いに線対称の位置に配置されていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
IPC (2件):
G01C19/56 ,  G01P9/04
FI (2件):
G01C19/56 ,  G01P9/04
Fターム (5件):
2F105AA02 ,  2F105BB13 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05
引用特許:
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る