特許
J-GLOBAL ID：200903066670016109

振動型ジャイロスコープおよびその製造方法

発明者：
郷治 庄作

郷治 庄作 について

, 
菊池 尊行

菊池 尊行 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073441
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264066
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【課題】振動型ジャイロスコープのノイズ信号のノイズレベルを低減する。【解決手段】振動子2が、一対の主面と側面と振動子の周縁から突出する突出部24とを備えている。振動型ジャイロスコープが、振動子の少なくとも側面上に形成されている駆動電極11J-11Q、振動子の少なくとも側面上に形成されている検出電極14E-14H、側面上に形成されており、駆動電極に接続されている第一の導電膜18、20、および側面上に形成されており、検出電極に接続されている第二の導電膜19、21を備えている。突出部24において、第一の導電膜18、20と第二の導電膜19、21とが絶縁されている。
請求項（抜粋）：
振動子を備えている振動型ジャイロスコープであって、前記振動子が、一対の主面と側面と前記振動子の周縁から突出する突出部とを備えており、前記振動型ジャイロスコープが、前記振動子の少なくとも前記側面上に形成されている駆動電極、前記振動子の少なくとも前記側面上に形成されている検出電極、前記側面上に形成されており、前記駆動電極に接続されている第一の導電膜、および前記側面上に形成されており、前記検出電極に接続されている第二の導電膜を備えており、前記突出部において前記第一の導電膜と前記第二の導電膜とが絶縁されていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
IPC (5件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/22
FI (6件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/08 J ,  H01L 41/22 Z
Fターム (5件)：
2F105AA02 ,  2F105BB03 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許：
審査官引用 (7件)
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