特許
J-GLOBAL ID：200903045218456676

光源装置及び光照射装置

発明者：
徳久 章

徳久 章 について

, 
大和 壮一

大和 壮一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-359428
公開番号（公開出願番号）：特開2003-158324
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構成で高輝度の光を、効率良く得ることができる光源装置を提供する。【解決手段】 増幅対象光及び励起光を透過するとともに、光増幅に伴って発生するノイズ光の伝搬量を低減させるブラッグ回折格子139が形成された増幅用光ファイバ1351を増幅媒体として備えた第1の光ファイバ増幅器131により増幅対象光を増幅することにより、第1の光ファイバ増幅器131において、励起光として供給された増幅用のエネルギを効率良く信号光の増幅用に活用する。また、増幅用光ファイバ1351を介した励起光を、光分岐器137E1によって分岐して、第2の光ファイバ増幅器132に供給することにより、簡易な構成で高輝度の光を効率良く得る。
請求項（抜粋）：
第1の波長の光を発生するレーザ光発生部と、前記レーザ光発生部が発生した光を増幅する少なくとも1つの光ファイバ増幅器を備える光増幅部とを含む光源装置において、前記光増幅部が備える第1の光ファイバ増幅器は、前記第1の波長とは異なる第2の波長の光によって励起される元素が添加され、入射した前記第1の波長の光を増幅するとともに、前記第1の波長の光及び前記第2の波長の光をほぼ透過し、前記第1の波長の光の増幅に伴って発生するノイズ光の伝搬量を低減させるブラッグ回折格子が形成された第1増幅用光ファイバと;前記第2の波長の光を前記第1増幅用光ファイバに供給する励起光発生器と;を備えることを特徴とする光源装置。
IPC (4件)：
H01S 3/10 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/094
FI (5件)：
H01S 3/10 Z ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/094 S ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (18件)：
5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB04 ,  5F046CB25 ,  5F046DA01 ,  5F046FA05 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072HH04 ,  5F072HH06 ,  5F072JJ02 ,  5F072KK05 ,  5F072KK07 ,  5F072KK15 ,  5F072MM07 ,  5F072PP07
引用特許：
審査官引用 (8件)
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