特許
J-GLOBAL ID：200903045284084925

半導体試験装置

発明者：
橋本 純

橋本 純 について


出願人/特許権者：
株式会社アドバンテスト

株式会社アドバンテスト について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-290356
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090419
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：
【要約】【課題】キャリブレーションに係る要素の変化を検出する手段を備えて、ボード交換に係る校正管理を的確に行える半導体試験装置を提供する。【解決手段】半導体試験装置自身を校正する機能を備える半導体試験装置において、少なくともキャリブレーションに係るボードの個々に対して個々のボードを識別できるボードIDをボードに付与するボードID付与手段を具備し、ボードIDを備える個々のボードが装着されているボードのスロット位置情報を管理するボードスロット位置管理手段を具備し、ボードID付与手段とボードスロット位置管理手段とに基づいて、各ボード毎にシステム・イニシャライズ若しくはタイミング・キャリブレーションの実行の可否を判断し、判断に基づく対象ボードに対して校正を実行する校正実行制御手段を具備する半導体試験装置。
請求項（抜粋）：
半導体試験装置自身を校正する機能を備える半導体試験装置において、少なくともキャリブレーションに係るボードの個々に対して個々のボードを識別できるボードIDを当該ボードに付与するボードID付与手段と、ボードIDを備える個々のボードが装着されているボードのスロット位置情報を管理するボードスロット位置管理手段と、該ボードID付与手段と該ボードスロット位置管理手段とに基づいて、各ボード毎にシステム・イニシャライズ若しくはタイミング・キャリブレーションの実行の可否を判断し、前記判断に基づく対象ボードに対して校正を実行する校正実行制御手段と、を具備することを特徴とする半導体試験装置。
Fターム (3件)：
2G032AA00 ,  2G032AE00 ,  2G032AL00
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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