回転カップ式塗布装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298286
公開番号（公開出願番号）：特開平11-128810
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】回転カップ式塗布装置のインナーカップの軽量化を図ることで、所定回転数までの立上がり時間を短縮する。【解決手段】インナーカップ23の外形形状は矩形状をなし中央部には吸着用の吸引穴23bが多数形成され、またインナーカップ23の内側周縁部には廃液回収路24が形成され、更に廃液回収路24の一部をなす四隅には周りから1段低くなった廃液回収部25が形成され、塗布終了後に蓋を開け、廃液回収部25に吸引パイプを上方から差込んで廃液の回収を行うようにしている。またインナーカップ23は全体の重量を軽量化するため、その肉厚を薄くするとともにリブ23aにて補強している。

請求項（抜粋）：

アウターカップ内に回転可能なインナーカップを配置し、これらアウターカップ及びインナーカップの上面開口を別々の蓋体で閉塞するとともに、インナーカップ用蓋体はインナーカップと一体的に回転するように支持した回転カップ式塗布装置において、前記インナーカップ及びインナーカップ用蓋体は外形形状を被処理基板の形状と略相似の非円形状としていることを特徴とする回転カップ式塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027 , H01L 21/31

FI (4件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/31 A , H01L 21/30 564 C

引用特許：

審査官引用 (6件)

塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-355935 出願人：東京応化工業株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-236091 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
回転塗布用スピナーヘツド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-243760 出願人：凸版印刷株式会社

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