特許
J-GLOBAL ID:200903045501946094

吸収型多層膜NDフィルター

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上田 章三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-167534
公開番号(公開出願番号):特開2006-058854
出願日: 2005年06月07日
公開日(公表日): 2006年03月02日
要約:
【課題】 平坦な透過率分光特性が再現性良く得られしかも量産性に優れた吸収型多層膜NDフィルターを提供すること。【解決手段】 この吸収型多層膜NDフィルターは、基板1と、ニッケル(Ni)を主成分とする金属層とSiO2、Al2O3若しくはこれ等混合物の誘電体層が基板1上に交互に積層されて成る光学多層体7とを備える構造を有しており、光減衰層としての上記金属層に、可視光域における分光透過率の波長依存性が小さいNi系金属材料を用いているため波長に対して平坦な透過率減衰が得られるNDフィルターを実現することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板と、ニッケル(Ni)を主成分とする金属層とSiO2、Al2O3若しくはこれ等混合物のいずれかの誘電体層が上記基板上に交互に積層されて成る光学多層体とを備えることを特徴とする吸収型多層膜NDフィルター。
IPC (1件):
G02B 5/00
FI (1件):
G02B5/00 A
Fターム (3件):
2H042AA08 ,  2H042AA11 ,  2H042AA22
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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