特許
J-GLOBAL ID:200903045597536959

ガルバノスキャナ制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-033687
公開番号(公開出願番号):特開2009-192837
出願日: 2008年02月14日
公開日(公表日): 2009年08月27日
要約:
【課題】精度不良が発生する前に事前に注意を促す機械特性診断機能を持ったガルバノスキャナ制御装置を得る。【解決手段】ガルバノスキャナの周波数特性を計測する為の加振信号を発生する加振信号発生部12と、加振信号によりガルバノスキャナを動作させた際の周波数特性を算出する周波数特性計算部13と、ガルバノスキャナの周波数特性の特徴とガルバノスキャナの機械状態が記載された機械状態診断データと、周波数特性計算部の算出した周波数特性と機械特性診断データに基づいて、ガルバノスキャナが正常な状態か異常な状態かを診断する機械状態診断部15と、機械特性診断部の診断結果を出力する表示部16とを備えている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
動作指令値を出力してガルバノスキャナを回転動作させるとともに、ガルバノスキャナの回転角度を検出する角度センサの検出値によりフィードバック制御するガルバノスキャナの制御装置において、 ガルバノスキャナの周波数特性を計測する為の加振信号を発生する加振信号発生部と、 前記加振信号によりガルバノスキャナを動作させた際の周波数特性を算出する周波数特性計算部と、 ガルバノスキャナの周波数特性の特徴とガルバノスキャナの機械状態が記載された機械状態診断データと、 前記周波数特性計算部の算出した周波数特性と前記機械状態診断データに基づいて、ガルバノスキャナが正常な状態か異常な状態かを診断する機械状態診断部と、 前記機械状態診断部の診断結果を出力する表示部と を備えたことを特徴とするガルバノスキャナ制御装置。
IPC (1件):
G02B 26/10
FI (2件):
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 A
Fターム (5件):
2H045AB44 ,  2H045AB54 ,  2H045CA97 ,  2H045DA02 ,  2H045DA41
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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