特許
J-GLOBAL ID：200903045914308541

電子線露光用マスクホルダ

発明者：
伊藤 考治郎

伊藤 考治郎 について

, 
杉村 浩

杉村 浩 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


代理人 (6件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-091622
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266453
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】電子線露光用マスクを機械的に精度良く、かつ、容易に位置合わせすることができる電子線露光用マスクホルダを提供すること。【解決手段】電子線露光用マスクホルダ1は、板状の電子線露光用マスク2が載置されるホルダ本体3と、ホルダ本体3との間で電子線露光用マスク2を挟持するホルダ蓋5と、電子線露光用マスク2をホルダ本体3に位置合わせする位置決め部6とを備えている。位置決め部6は、ホルダ本体3に立設された一対の位置決めピンと、電子線露光用マスク2に設けられて一対の位置決めピンが嵌合する一対のマスク側位置決め孔部と、ホルダ蓋5に設けられた一対のホルダ側位置決め孔部とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子線露光用マスクが載置されるホルダ本体と、 該ホルダ本体との間で前記電子線露光用マスクを挟持するホルダ蓋と、 前記電子線露光用マスクを前記ホルダ本体に位置合わせする位置決め部とを備え、 前記位置決め部が、前記ホルダ本体又は前記ホルダ蓋の何れか一方に立設された位置決め凸部と、 前記電子線露光用マスクに設けられて前記位置決め凸部が嵌合するマスク側位置決め孔部とを備えていることを特徴とする電子線露光用マスクホルダ。
IPC (5件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G03F 1/16 ,  G03F 1/14 ,  H01J 37/305
FI (5件)：
H01L21/30 541S ,  G03F7/20 504 ,  G03F1/16 B ,  G03F1/14 M ,  H01J37/305 B
Fターム (8件)：
2H095BA08 ,  2H095BC30 ,  2H095BE12 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C034BB05 ,  5F056FA05 ,  5F056FA06
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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