特許
J-GLOBAL ID：200903046022250871

背面電子衝撃加熱装置

発明者：
小笠原 俊彦

小笠原 俊彦 について

, 
芳賀 重崇

芳賀 重崇 について

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三浦 邦明

三浦 邦明 について


出願人/特許権者：
助川電気工業株式会社

助川電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-109446
公開番号（公開出願番号）：特開2007-280905
出願日： 2006年04月12日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】加熱容器1のとテーブル6との間の電気的接触抵抗を小さく、且つ安定化させて、加熱容器1の熱分解生成炭素皮膜の欠陥を防止し、これにより長期にわたって安定して加熱容器の気密性を確保出来する。【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、前記導電性を有する加熱容器1の周壁13の下端部をテーブル6の上に載せて気密に支持すると共に同加熱容器1の周壁13の下端部とテーブル6との間に、真空シール8に加え、導電性を有するスプリングを環状としたスプリングコンタクト5を介在させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フィラメント(9)で発生した熱電子を加速してこれを加熱容器(1)の天板となる加熱プレート(2)にその背面から衝突させて加熱プレート(2)を発熱させる背面電子衝撃加熱装置であって、前記導電性を有する加熱容器(1)の周壁(13)の下端部をテーブル(6)の上に載せて気密に支持すると共に同加熱容器(1)の周壁(13)の下端部とテーブル(6)との間に、真空シール(8)に加え、導電性を有するスプリングを環状としたスプリングコンタクト(5)を介在させたことを特徴とする背面電子衝撃加熱装置。
IPC (4件)：
H05B 7/00 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027 ,  H05B 1/00
FI (4件)：
H05B7/00 Z ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/30 567 ,  H05B1/00
Fターム (6件)：
3K058AA45 ,  3K058AA95 ,  3K058BA19 ,  3K058GA05 ,  3K084AB02 ,  5F046KA10
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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