3次元構造観察用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-329947
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043382
出願日： 2004年11月15日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の3次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。【解決手段】試料片10の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片10を1軸全方向傾斜試料ホルダに、突起11の中心軸と試料傾斜軸Zを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したTEM像を投影像として用い、再構成を行う。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

イオン源,コンデンサレンズ,対物レンズ,試料ホルダ,試料回転・移動機構,試料冷却機構,質量分析器,画像記録装置及び制御用計算機からなる集束イオンビーム加工装置であって、観察対象を内包する突起部分を有する形状に試料を加工するイオンビーム偏向器,イオンビーム制御機構及びブランカを具備することを特徴とする3次元構造観察用試料作製装置。

IPC (5件)：

G01N1/28 , G01N1/32 , G01N23/04 , G01N23/225 , G01N27/62

FI (5件)：

G01N1/28 G , G01N1/32 B , G01N23/04 , G01N23/225 , G01N27/62 B

Fターム (47件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001AA10 , 2G001BA06 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001BA16 , 2G001BA30 , 2G001CA03 , 2G001CA05 , 2G001CA10 , 2G001EA05 , 2G001GA02 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001GA08 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA03 , 2G001JA07 , 2G001JA13 , 2G001KA01 , 2G001KA03 , 2G001KA20 , 2G001LA11 , 2G001MA06 , 2G001MA10 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 2G001PA12 , 2G001PA15 , 2G001QA01 , 2G001RA01 , 2G001RA03 , 2G001RA04 , 2G001RA06 , 2G001RA20 , 2G052AD32 , 2G052AD52 , 2G052CA07 , 2G052DA33 , 2G052EB13 , 2G052EC14 , 2G052EC18 , 2G052GA24 , 2G052GA34 , 2G052HC11

引用特許：

出願人引用 (1件)

特開平3-110126号公報

審査官引用 (10件)

特開平1-217844
特開平4-337236
透過電子顕微鏡用断面試料作成用集束イオンビーム装置及び透過電子顕微鏡用断面試料作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141852 出願人：シャープ株式会社

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