特許
J-GLOBAL ID：200903046392288800

較正方法、露光方法及びデバイス製造方法、並びに露光装置

発明者：
金谷 有歩

金谷 有歩 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-098755
公開番号（公開出願番号）：特開2009-252986
出願日： 2008年04月04日
公開日（公表日）： 2009年10月29日
要約：
【課題】移動体に設けられた回折格子の歪みに起因するエンコーダヘッドの計測値を高精度に補正する。【解決手段】X軸方向を計測方向とするエンコーダヘッド(Xヘッド)667,660とそれらに対向してステージWST上に設けられたXスケール39X1を用いて、ステージWSTのX位置を計測する。ステージWSTをX軸方向に移動させ、X軸方向に所定間隔で設定された計測点毎に、両ヘッド667,660の計測値の差分を求める。全てのステップ位置についての差分より、Xスケール39X1の歪みを求める。同様に、その他のスケールの歪みを計測する。計測された歪みに基づいて、ステージWSTの位置を計測するエンコーダの計測値を補正する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
少なくとも一軸方向についての移動体の駆動精度を較正するための較正方法であって、 前記移動体の前記一軸を含む所定平面に実質的に平行な一面に設けられた前記一軸方向を周期方向とするグレーティングに対向する前記一軸方向に離間する2つのエンコーダヘッドを用いて、前記一軸方向に関する前記移動体の位置を計測し、前記2つのエンコーダヘッドの計測値の差分を求める工程と; 前記移動体の少なくとも前記一軸方向に関する複数の計測位置にて求められる前記差分を用いて、前記グレーティングの歪みデータを作成する工程と; を含む較正方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/683
FI (4件)：
H01L21/30 516B ,  G03F7/20 521 ,  G01B11/00 G ,  H01L21/68 N
Fターム (31件)：
2F065AA04 ,  2F065AA20 ,  2F065BB15 ,  2F065CC17 ,  2F065CC20 ,  2F065EE11 ,  2F065EE12 ,  2F065FF16 ,  2F065FF48 ,  2F065FF55 ,  2F065GG04 ,  2F065LL42 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ42 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA27 ,  5F031KA05 ,  5F031MA27 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DC12
引用特許：
出願人引用 (7件)
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