特許
J-GLOBAL ID：200903046449503959
圧電薄膜共振器およびフィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-290495
公開番号（公開出願番号）：特開2008-109414
出願日： 2006年10月25日
公開日（公表日）： 2008年05月08日
要約：
【課題】共振部からの振動エネルギーの散逸を抑制することが可能な圧電薄膜共振器およびフィルタを提供すること。【解決手段】本発明は、基板(41)の空隙(46)上に設けられた下部電極(43)と、下部電極(43)上に設けられた圧電膜(44)と、圧電膜(44)を挟み下部電極(43)と対向する共振部(47)を有するように圧電膜(44)上に設けられた上部電極(45)と、を具備し、下部電極(43)および上部電極(45)の少なくとも一方は、空隙(46)上に共振部(47)から信号を引き出すための配線部(48)を有し、下部電極(43)および上部電極(45)の少なくとも一方は、配線部(48)における圧電膜(44)に接する単位面積当たりの質量が共振部(47)における単位面積あたりの質量より小さい圧電薄膜共振器およびフィルタである。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板の空隙上または基板との間に空隙が形成されるように設けられた下部電極と、
該下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する共振部を有するように前記圧電膜上に設けられた上部電極と、を具備し、
前記下部電極および前記上部電極の少なくとも一方は、前記空隙上に前記共振部から信号を引き出すための配線部を有し、
前記下部電極および前記上部電極の少なくとも一方は、前記配線部における前記圧電膜に接する単位面積当たりの質量が前記共振部における単位面積あたりの質量より小さいことを特徴とする圧電薄膜共振器。
IPC (5件)：
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H03H 9/54
, H01L 41/09
, H01L 41/18
H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H03H9/54 Z
, H01L41/08 U
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 L
5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF01
, 5J108FF02
, 5J108FF04
, 5J108KK02
, 5J108MM08
, 5J108MM11
, 5J108MM14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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