特許
J-GLOBAL ID：200903046512858193
スタンパ並びにスタンパ及び磁気記録媒体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-270254
公開番号（公開出願番号）：特開2006-082432
出願日： 2004年09月16日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 本発明は、スタンパの凹凸形状を維持し、スタンパの凸部幅を減少することのできるスタンパの製造方法、及び、それを用いた磁気記録媒体の製造方法、並びに、インプリント時の離型性に優れたスタンパを提供することを目的とする。【解決手段】 本実施の形態のスタンパの製造方法は、表面に凹凸形状を有する原盤を作製する工程と、原盤の凹凸形成面をTa、Ti、W及びMoのいずれかからなる犠牲層で被膜する工程と、その後、電気鋳造を用いて、原盤から凹凸形状を転写したスタンパを作製する工程と、スタンパ及び犠牲層を原盤から剥離する工程と、フッ素系ガスによるエッチング法を用いて、スタンパを被膜する犠牲層を除去する工程と、を備えることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面に凹凸形状を有する原盤を作製する工程と、
前記原盤の凹凸形成面をTa、Ti、W及びMoのいずれかからなる犠牲層で被膜する工程と、
その後、電気鋳造を用いて、前記原盤から前記凹凸形状を転写したスタンパを作製する工程と、
前記スタンパ及び前記犠牲層を前記原盤から剥離する工程と、
フッ素系ガスによるエッチング法を用いて、前記スタンパを被膜する前記犠牲層を除去する工程と、を備えることを特徴とするスタンパの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4F202AF16
, 4F202AG03
, 4F202AH79
, 4F202CA11
, 4F202CD08
, 4F202CD12
, 4F202CD23
, 4F202CD24
, 4F202CK43
, 5D112AA20
, 5D112EE02
, 5D112HH08
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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