特許
J-GLOBAL ID：200903046847527841
走査型プローブ顕微鏡および漏洩物理量の計測方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-102136
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283538
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 アスペクト比が大きな縦構造を有する試料の表面形状およびその表面近傍の物理量の計測を高精度に行う。【解決手段】 XY方向への探針の移動を停止した状態で、探針を所定の周波数で加振しながら試料表面に接近させる。ロックイン増幅器40の出力が所定値に達したことにより、試料表面位置を検出する。そして、探針を試料表面から後退する方向へ所定の距離移動させた後、探針を物理量の計測位置に移動させ、ロックイン増幅器40の出力を得て、所望の物理量を求める。この場合、試料表面位置が小さな力で検出可能なので、探針の撓みや滑りがない。そのため、表面位置の計測の誤差が小さく、また、物理量の計測は、その表面位置に基づく位置で行われるので、その誤差は小さい。また、探針は、XY方向へ移動しない状態で、試料に接近するので、アスペクト比の大きい谷底にも到達できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
計測対象の試料を載置する試料ステージと、
前記試料ステージの上面に対し平行な方向および接近または後退する方向に移動自在に設けられ、その先端に探針が固定されたカンチレバーと、
前記探針が前記試料の表面から所定の距離以上離間した位置で、前記探針および前記カンチレバーを前記試料の表面に沿った所定の方向に移動させるXY方向探針移動手段と、
前記XY方向探針移動手段による前記探針および前記カンチレバーの移動が停止している状態で、前記探針を前記試料の表面に対して接近する方向または後退する方向へ移動させるZ方向探針移動手段と、
前記カンチレバーを所定の周波数の振動により加振するカンチレバー加振手段と、
前記探針が前記カンチレバーの振動および前記試料の表面から漏洩する物理量による力を受けて振動するとき、その振動の周波数が所定の周波数からシフトする量を検出する周波数シフト量検出手段と、
前記探針を前記試料の表面の後退している位置から接近する位置へZ方向に沿って移動させ、前記周波数シフト量検出手段で検出された周波数シフト量が所定の量に達したことを判定することにより前記試料の表面位置を検出する表面位置検出手段と、
前記表面位置検出手段により検出された表面位置情報に基づきその表面位置から所定の距離離間した位置において、前記周波数シフト量検出手段により検出された周波数シフト量に基づき前記試料の表面から漏洩する物理量を検出する物理量検出手段と
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N13/16 A
, G01N13/16 C
, G01N13/10 C
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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