特許
J-GLOBAL ID:200903047010968200
圧電デバイス
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-301225
公開番号(公開出願番号):特開2008-118501
出願日: 2006年11月07日
公開日(公表日): 2008年05月22日
要約:
【課題】落下などにより水晶振動片の垂直方向に過度の衝撃力が加わっても、先端錘層を含む振動腕の破損或いは変形などを生じ難くし、これによる振動特性の劣化を防止した圧電デバイスを提供する。【解決手段】本発明の圧電デバイスの一例としての水晶振動子10は、パッケージ11の収容凹部13に圧電振動片の一例としての水晶振動片14が接続され、蓋体24によって気密に封止されている。収容凹部13の底面12には、接続パッド19に接続された水晶振動片14の振動腕15に設けられた溝部18と先端錘層21との間の振動腕15の部分に対向する底面12の領域内を通る接触縁23を含み、少なくとも接触縁23より先端方向にある先端錘層21を含む振動腕15の部分に対向する領域が平面視で内側となるように縁取られて開口する底面凹部22が形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基部と、前記基部から略平行に延出された複数の振動腕と、前記基部から延出され、前記複数の振動腕を挟むように前記複数の振動腕のそれぞれの側面に略平行に形成された複数の支持腕と、前記複数の振動腕のそれぞれのおもて面および/または裏面に形成された溝部と、前記複数の振動腕のそれぞれの先端部近傍のおもて面および/または裏面に形成された先端錘層とを有する圧電振動片と、
収容凹部に前記圧電振動片を収容して、蓋体によって気密に封止されるパッケージと、
前記収容凹部の底面に、縁取り形成された底面凹部と、
前記複数の支持腕が接続される部位の前記収容凹部の底面に突起状に形成された接続パッドと、を有し、
前記圧電振動片は、前記支持腕の一部が接合部によって前記接続パッドに接続されており、
前記底面凹部は、接続された前記圧電振動片の前記複数の振動腕の前記溝部と前記先端錘層との間に対向する前記収容凹部の前記底面の領域に縁を有し、前記先端錘層に対向する前記収容凹部の底面の領域を内側に含むように縁取られて形成されていることを特徴とする圧電デバイス。
IPC (3件):
H03H 9/10
, H03H 9/19
, H03H 9/215
FI (4件):
H03H9/10
, H03H9/19 K
, H03H9/19 L
, H03H9/215
Fターム (10件):
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC09
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE06
, 5J108EE18
, 5J108FF14
, 5J108GG03
, 5J108GG16
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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