基板ピッチ変換装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-242996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068526
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】キャリアに収納された基板を、そこでの収納ピッチよりも小さいピッチで別の基板保持手段に保持させるために保持ピッチを変換できるものでありながら、キャリアを小型化できるようにする。【解決手段】基板受け渡し具を設けた第1の支持ブラケットに、第3のエアシリンダを介して基板の並列載置方向に移動出退可能に基板保持部材20を設け、基板保持部材20を退避させた状態では、キャリアの下部開口を通過できるようにする。基板保持部材20に、それぞれ基板を保持する第1および第2の基板保持部21a,21bを付設し、突出状態において、第1および第2の基板保持部21a,21bのいずれかに一枚の基板Wを保持できるようにする。

請求項（抜粋）：

複数の基板を所定ピッチで整立収納する第1のキャリアから基板を抜き出し、前記第1のキャリアと同じピッチで複数の基板を整立収納する第2のキャリアから基板を抜き出し、第1のキャリアから抜き出した第1の基板群の基板間の各隙間に、第2のキャリアから抜き出した第2の基板群を、相互に接触しない状態で挿入して、第3の基板群を形成するようにした基板ピッチ変換装置であって、第1の基板群が上昇通過するのを許容する第1の状態と、第1の基板群が下降するのを受け止めて載置保持し、第2の基板群が上昇通過するのを許容する第2の状態と、第1の基板群および第2の基板群が下降するのを受け止めて、前記第3の基板群を形成するようにして基板を載置保持する第3の状態とに切り替え可能で、基板を整立姿勢で水平方向に並列載置保持する基板保持手段と、基板を立姿勢で収納し、基板を出し入れする上部開口を上向きにした第1または第2のキャリアの上方に前記基板保持手段を位置させた状態で、第1または第2のキャリアの下部に設けられた下部開口を通じて上昇し、第1または第2のキャリア内の基板を突き上げ保持して前記基板保持手段に受け渡す基板受け渡し具と、基板を立姿勢で収納し、基板を出し入れする上部開口を上向きにした第2のキャリアを、前記基板保持手段および前記基板受け渡し具に対して、前記第1のキャリアと前記第2のキャリアの間隔だけ相対移動する第1の位置合わせ機構と、第2のキャリアおよび前記基板受け渡し具を前記基板保持手段に対して第3の基板群のピッチだけ相対移動する第2の位置合わせ機構と、前記基板受け渡し具に付設されて、基板の並列載置方向に出退し、その退避状態では前記第2のキャリアの下部開口を通過可能で、かつ、突出状態では前記基板保持手段に載置保持されている第1の基板群において端に位置する基板を受け止め保持する基板保持部材と、を備えたことを特徴とする基板ピッチ変換装置。

Fターム (7件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA24

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-103949
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166465 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-038966 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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