特許
J-GLOBAL ID：200903047314317434
ウェハアライナ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-345314
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151575
出願日： 2000年11月13日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：
【要約】【課題】円形ウェハと方形ウェハとの双方の位置合わせを行うことができるようにしたウェハアライナ装置を提供する。【解決手段】ウェハWFをターンテーブルに保持して回転させるウェハ回転装置100と、ウェハ昇降装置102と、ウェハのエッジ位置を検出するエッジ位置検出器12と、ターンテーブルの回転角度を検出する回転角度検出器103と、ターンテーブル移動装置101と、検出器12及び103が出力するエッジ位置検出信号及び角度検出信号を記憶する記憶装置22と、エッジ位置検出信号及び角度検出信号に応じてウェハの偏心量を演算する偏心量演算手段104と、ウェハの偏心量を修正する位置合わせ手段105とを設け、偏心量演算手段104を、円形ウェハ偏心量演算手段と方形ウェハ偏心量演算手段とにより構成した。
請求項（抜粋）：
ウェハを保持するターンテーブルと該ターンテーブルを回転させる回転駆動機構とを有するウェハ回転装置と、前記ターンテーブルをその軸線と直角な平面に沿って少なくとも一方向に移動させるターンテーブル移動装置と、前記ウェハをターンテーブルの軸線方向に沿って上下させるウェハ昇降装置と、前記ターンテーブルの回転中心軸線と直交し前記ターンテーブル上のウェハの板面に沿う平面を基準面として、該基準面と前記回転中心軸線との交点を基準点としたときの前記基準点と前記ウェハのエッジとの間の距離の情報を含むエッジ位置情報を与えるエッジ位置検出信号を前記ウェハのエッジを非接触で検出して出力するエッジ位置検出器と、前記ターンテーブルの回転角度を検出して角度検出信号を出力する回転角度検出器と、前記ウェハを保持したターンテーブルを所定の角度ずつ回転させながら前記エッジ位置検出信号と前記角度検出信号とをサンプリングしてサンプリングしたエッジ位置検出信号及び角度検出信号を記憶する記憶装置と、前記エッジ位置検出信号及び角度検出信号にそれぞれ含まれるエッジ位置情報及び回転角度情報を用いて前記ウェハの基準位置に対する偏心量を演算する偏心量演算手段と、前記偏心量演算手段により演算された偏心量に応じて前記ウェハ回転装置とターンテーブル移動装置とウェハ昇降装置とを制御して前記ウェハの位置を基準位置に合せる位置合せ手段とを備えたウェハアライナ装置であって、前記偏心量演算手段は、前記ウェハが正方形である場合に、前記基準面上における前記基準点と前記ウェハの中心との間の距離を偏心距離Leとして演算し、前記基準面上で前記基準点と該基準点からずれた位置にある前記ウェハの中心とを結ぶ軸を偏心角度軸として該偏心角度軸が、前記基準面上で前記基準点を通るように設定された方形ウェハ用基準軸に対してなす角を偏心角θeとして演算する方形ウェハ偏心量演算手段を具備しているウェハアライナ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 F
, G01B 11/00 D
2F065AA02
, 2F065AA12
, 2F065BB01
, 2F065BB27
, 2F065CC19
, 2F065DD02
, 2F065DD06
, 2F065FF41
, 2F065HH05
, 2F065HH13
, 2F065JJ25
, 2F065MM03
, 2F065MM04
, 2F065QQ03
, 2F065QQ04
, 2F065QQ13
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 5F031CA02
, 5F031CA04
, 5F031FA01
, 5F031JA28
, 5F031JA29
, 5F031JA36
, 5F031KA11
