特許
J-GLOBAL ID：200903047452118345
電磁誘導スパイラルインダクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-285289
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119948
出願日： 2002年09月30日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】電流の変化によって生じる電磁誘導を一方向だけでなく、多方向に生じさせることで、単位体積当たりのインダクタンス効率を上げることが可能な電磁誘導スパイラルインダクタを提供することを目的とする。【解決手段】スパイラルインダクタ導体配線層を2分割して、分割されたスパイラルインダクタ導体配線層21及び分割されたスパイラルインダクタ導体配線層22が絶縁層12を介して絶縁基材11上に形成されており、分割されたスパイラルインダクタ導体配線層21及び分割されたスパイラルインダクタ導体配線層22はビア41にて電気的に接続され、絶縁層12を介して分割されたスパイラルインダクタ導体配線層21及び分割されたスパイラルインダクタ導体配線層22が行き来する2層構成の電磁誘導スパイラルインダクタを得る。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくともインダクタが内蔵された半導体装置用基板において、分割されたスパイラルインダクタ導体配線層が絶縁層を介して少なくとも2層形成されており、前記分割されたスパイラルインダクタ導体配線層がビアにて接続されてスパイラルインダクタを形成していることを特徴とする電磁誘導スパイラルインダクタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L23/12 B
, H01F17/00 B
5E070AA01
, 5E070CB04
, 5E070CB12
, 5E070CB17
