過剰電圧保護回路を伴ったDC-DC変換器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：山本秀策 , 安村高明 , 森下夏樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-530005
公開番号（公開出願番号）：特表2008-511127
出願日： 2005年08月23日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：

本発明によって、プラズマを点火させることを提供する装置と方法とが提供される。該装置と方法とでは、アークの場合は、シャントスイッチが電力をプラズマからそらせるために使われ、該プラズマは、過剰電圧保護回路に組み込まれている。アークが消失すれば、プラズマを再点火させるための点火電圧をブースとするため、蓄えられたインダクタエネルギーが使用されるよう、該過剰電圧保護回路は、アークが消失したときに、シャントスイッチをブーストスイッチとして動作するように制御する。アークが消失し、インダクタ電流が減少し、プラズマが点火するとき、スイッチS1はオフにされ、インダクタエネルギーはプラズマに行き、電源は通常動作モードで動作する。

請求項（抜粋）：

dcプラズマ処理のための装置であって、 a)プラズマ処理のためのチャンバーであって、該チャンバーに含まれる少なくとも二つの電極を有するチャンバーと、 b)該電極に電圧を供給することにより、プラズマを点火し、電力を供給する電源と、 c)シャントスイッチをオンにすることにより、アークの開始時にてプラズマから電流をそらせる回路と、 d)アークが消失したとき、該シャントスイッチをブーストスイッチとして動作するよう制御する過剰電圧保護回路であって、プラズマが消失したとき、プラズマを再点火するための点火電圧をブーストするのに、蓄えられたインダクタエネルギーが用いられる過剰電圧保護回路とを備える装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 , H05H 1/24 , H02M 3/155 , H05H 1/00 , C23C 14/34

FI (5件)：

H05H1/46 R , H05H1/24 , H02M3/155 C , H05H1/00 A , C23C14/34 U

Fターム (15件)：

4K029DC33 , 4K029EA06 , 4K029EA09 , 5H730AA20 , 5H730BB13 , 5H730BB14 , 5H730BB57 , 5H730FD01 , 5H730FG01 , 5H730XX03 , 5H730XX12 , 5H730XX23 , 5H730XX32 , 5H730XX44 , 5H730XX45

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第5,584,974号明細書

審査官引用 (5件)

スパッタ処理システムにおけるプラズマ遷移の制御
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-523982 出願人：エムケーエスインストルメンツインコーポレーテッド
スパッタリング用電源装置および該装置を用いたスパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-035898 出願人：株式会社芝浦製作所
エンハンスト直流プラズマ処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-360038 出願人：アドバンスト・エナジー・インダストリーズ・インコーポレイテッド

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