特許
J-GLOBAL ID：200903047499692449

基板保持機構、基板搬送方法および処理装置

発明者：
太田 義治

太田 義治 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-092885
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284427
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 処理装置内において設置されていた装置内搬送機構を不用とし、これにより、基板の処理システム全体における装置構成上の無駄を省く。【解決手段】 基板保持機構50が、搬送装置40から処理装置60に受け渡され、搬送装置40から離脱した状態であっても、制御部56からの指令に基づき、駆動部が動作し、基板支持部54が処理装置60内の処理部62にアクセスし、ガラス基板Gの受け渡しを行うことができる構成である。従って、この基板保持機構50を用いた場合には、従来のように処理装置に装置内搬送機構を設置しておく必要がない。
請求項（抜粋）：
搬送装置に着脱可能に支持され、該搬送装置と処理装置との間でそのまま受け渡しされる基板保持機構であって、基体フレームと、前記基体フレームに動作可能に設けられると共に、処理対象となる基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部を動作させる駆動部と、前記駆動部の制御機能を備えた制御部とを具備することを特徴とする基板保持機構。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 49/06 Z ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/30 514 D ,  H01L 21/30 515 G
Fターム (32件)：
2H088FA17 ,  2H088HA01 ,  2H088MA16 ,  2H088MA20 ,  5F031CA05 ,  5F031DA17 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA06 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031NA02 ,  5F031NA15 ,  5F031PA03 ,  5F031PA04 ,  5F031PA26 ,  5F046CC01 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046CD05 ,  5F046JA22 ,  5F046KA07 ,  5F046LA11 ,  5F046LA18
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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