分光光度計

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：最上健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-340309
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139611
出願日： 2001年11月06日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】光学部品間などの位置調整及び調整機構が不要で簡単に小型化が可能であると共に、半導体技術を利用して1チップとしての製造を可能とした、高精度並びに高信頼性の分光光度計を提供する。【解決手段】 Si 基板1をエッチング除去して形成された光導波路2と、光導波路のSi 基板の段差端面部に形成された光入射スリット3と、光入射スリットと対向する光導波路の端面部に形成した回折格子4と、光入射スリットが形成された光導波路の端面側に、Si 基板の一部が受光部となるように形成されたフォトダイオードアレイ5とを備え、光入射スリットと回折格子の中心とフォトダイオードアレイを構成する個々のフォトダイオードの受光面を、ローランド円上に配置して分光光度計を構成する。

請求項（抜粋）：

光導波路と、該光導波路内側の端面に設けられ該光導波路内に入射光を入射させるための光入射スリットと、前記光導波路内側の端面もしくは前記光導波路内に設けられ該光導波路内に入射された入射光を分光するための光学素子と、前記光導波路内側の端面に設けられ前記光学素子で分光された入射光を検出するための光電変換素子とを少なくとも備えていることを特徴とする分光光度計。

IPC (8件)：

G01J 3/18 , G01J 3/14 , G01J 3/20 , G01J 3/36 , G02B 3/06 , G02B 5/04 , G02B 5/18 , H01L 31/10

FI (8件)：

G01J 3/18 , G01J 3/14 , G01J 3/20 , G01J 3/36 , G02B 3/06 , G02B 5/04 C , G02B 5/18 , H01L 31/10 A

Fターム (34件)：

2G020CB04 , 2G020CC05 , 2G020CC11 , 2G020CC13 , 2G020CC15 , 2G020CC42 , 2G020CC63 , 2G020CD06 , 2G020CD24 , 2G020CD33 , 2H042CA07 , 2H042CA12 , 2H042CA17 , 2H049AA06 , 2H049AA18 , 2H049AA37 , 2H049AA44 , 2H049AA48 , 2H049AA58 , 2H049AA64 , 2H049AA68 , 5F049MA02 , 5F049MB02 , 5F049NA10 , 5F049NA19 , 5F049NB07 , 5F049PA14 , 5F049RA02 , 5F049RA10 , 5F049SS03 , 5F049SZ13 , 5F049SZ16 , 5F049TA11 , 5F049TA20

引用特許：

審査官引用 (7件)

波長分波光検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-285502 出願人：日本電信電話株式会社
ガス用赤外線分光センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-246493 出願人：マイクロパーツゲゼルシャフトフュアミクロストルクトゥーアテヒニクミットベシュレンクテルハフツング
ポリクロメータシステム及び分光分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034798 出願人：サーモジャレルアッシュコーポレーション

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