特許
J-GLOBAL ID：200903047758886400
弾性表面波デバイス、及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
林 恒徳
, 土井 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-266214
公開番号（公開出願番号）：特開2009-094975
出願日： 2007年10月12日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：
【課題】特定の環境処理を必要としないで、電極の腐食防止を可能とする弾性表面波デバイス及び、その製造方法を提供する。【解決手段】圧電基板と、前記圧電基板上に形成された弾性表面波形成用電極と、前記圧電基板上において前記弾性表面波形成用電極を囲う枠状層と、前記枠状層上に接合形成され、前記弾性表面波形成用電極との間に中空部を形成する蓋体とを有し、前記枠状層及び前記蓋体は感光性樹脂を含み、前記蓋体は貫通孔を有し、前記貫通孔はハロゲンフリーの熱硬化性樹脂で塞がれている。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成された弾性表面波形成用電極と、
前記圧電基板上において前記弾性表面波形成用電極を囲う枠状層と、
前記枠状層上に接合形成され、前記弾性表面波形成用電極との間に中空部を形成する蓋体とを有し、
前記枠状層及び前記蓋体は感光性樹脂を含み、前記蓋体は貫通孔を有し、前記貫通孔はハロゲンフリーの熱硬化性樹脂で塞がれている、
ことを特徴とする弾性表面波デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
5J097AA25
, 5J097AA33
, 5J097BB11
, 5J097HA04
, 5J097JJ06
, 5J097JJ08
, 5J097JJ10
, 5J097KK10
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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