特許
J-GLOBAL ID：200903030417172566
弾性表面波装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-087609
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266865
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】 弾性表面波を発生する電極をウェハレベルで簡単かつ良好に封止することができる弾性表面波装置を提供する。 【解決手段】 本発明の弾性表面波装置は、圧電基板と、圧電基板の一主面上に形成された弾性表面波素子と、弾性表面波素子を収容する収容空間を有し、この収容空間の外側で圧電基板の一主面に取着されるキャップ体とを備えたものである。これにより、弾性表面波素子を封止するための環状部材や封止基板が不要となるので、小型なものとすることができる。また、収容空間内への水分の進入を遮断する事が可能となり、確実に収容空間を密閉する事ができるので、ウェハーレベルで簡単かつ良好に封止する事ができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
圧電基板と、前記圧電基板の一主面上に形成された弾性表面波素子と、前記弾性表面波素子を収容する収容空間を有し、該収容空間の外側で前記圧電基板の前記一主面に取着されるキャップ体とを備えた弾性表面波装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5J097AA25
, 5J097AA29
, 5J097HA04
, 5J097JJ06
, 5J097KK10
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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