カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製用基板

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：杉村興作 , 高見和明 , 徳永博 , 藤谷史朗 , 来間清志 , 大山健次郎 , 冨田和幸 , 阿相順一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-092471
公開番号（公開出願番号）：特開2005-272284
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】プラズマCVD法において、高密度に垂直配向し、直線状のCNTを簡易に作製する。【解決手段】基材S11上において、チタン膜S12及び触媒金属膜S13が順次に形成された基板Sを準備する。次いで、所定の成膜容器11内に設けられたカソード電極12に基板Sを配置する。次いで、カソード電極12の上方にグリッド電極17を配置する。次いで、成膜容器11内に原料ガスを流すとともに、前記原料ガスをプラズマ化し、基板S上にカーボンナノチューブを形成する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

所定の基材上において、チタン膜及び触媒金属膜が順次に形成された基板を準備する工程と、

IPC (5件)：

C01B31/02 , B01J3/00 , B01J19/08 , B82B3/00 , H01G9/058

FI (5件)：

C01B31/02 101F , B01J3/00 J , B01J19/08 E , B82B3/00 , H01G9/00 301B

Fターム (26件)：

4G075AA22 , 4G075BC04 , 4G075CA02 , 4G075CA51 , 4G075CA65 , 4G075DA01 , 4G075DA18 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075FA01 , 4G075FA12 , 4G075FB02 , 4G146AA11 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB23 , 4G146BC09 , 4G146BC31A , 4G146BC31B , 5H018AA01 , 5H018BB01 , 5H018BB07 , 5H018DD05 , 5H018DD10 , 5H018EE05 , 5H018HH03

引用特許：

審査官引用 (5件)

カーボンナノ繊維の製造方法及びその方法を用いて製造されたカーボンナノ繊維を用いた電子デバイス,二次電池又は燃料電池電極,水素吸蔵体,複合材及び電磁波吸収材。
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-001773 出願人：双葉電子工業株式会社, 滝川浩史
カーボンナノチューブの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-182468 出願人：本田技研工業株式会社, 中山喜萬
カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-178515 出願人：李鉄真, 株式会社日進ナノテック

全件表示

前のページに戻る