特許
J-GLOBAL ID：200903047820965061

レジスト樹脂組成物

発明者：
池口 信之

池口 信之 について

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大森 貴文

大森 貴文 について

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大野 大典

大野 大典 について

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上野 雅義

上野 雅義 について


出願人/特許権者：
三菱瓦斯化学株式会社

三菱瓦斯化学株式会社 について


代理人 (1件)： 永井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-364567
公開番号（公開出願番号）：特開2004-198561
出願日： 2002年12月17日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】伸び、耐屈曲性が良好で、耐冷熱衝撃性、耐マイグレーション性等に優れたレジスト樹脂組成物を得る。【解決手段】多官能性シアン酸エステル化合物を分子内に反応で取り込んだ不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂を用いて得られた不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂を用い、添加剤として、1官能エポキシ樹脂、エチレン性不飽和モノマー、光重合開始剤を必須成分として配合し、更には中に弾性を有すする樹脂の最外層がガラス質又は無機質層を有する多重構造の球状粉体、加えてウレタン変性アクリレートてレジスト樹脂組成物とする。【効果】低弾性率で、伸びが大きく、耐屈曲性、耐冷熱衝撃性、耐マイグレーション性等に優れたレジスト樹脂組成物が得られた。
請求項（抜粋）：
レジスト樹脂組成物において、 (a)エポキシアクリレート100重量部と多官能性シアン酸エステル化合物5〜40重量部との反応生成物に、多塩基酸無水物10〜90重量部を反応させた、酸価40〜200mgKOH/g の不飽和基含有ポリカルボン酸樹脂、 (b)式(1)で示されるエポキシ樹脂
IPC (4件)：
G03F7/027 ,  C08G59/24 ,  C08G59/42 ,  G03F7/004
FI (5件)：
G03F7/027 515 ,  G03F7/027 513 ,  C08G59/24 ,  C08G59/42 ,  G03F7/004 501
Fターム (21件)：
2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC45 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J036AA01 ,  4J036AD08 ,  4J036EA04 ,  4J036FB03 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09
引用特許：
審査官引用 (6件)
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