液晶用ガラス基板の熱処理装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-189221
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033905
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】液晶ディスプレイ用ガラス基板に、各種目的で塗布された材料の熱処理をおこなう装置における、昇温及び冷却特性の向上によるコンパクト化及び温度分布が均一化する。【解決手段】ガラス基板16の入口部2と出口部3とを設けた空洞部4を設け、空洞部4の内部下面に入口部2から出口部3へ向い単数又は複数枚の昇温部7用ホットプレート5、複数枚の均熱部8用ホットプレート5、複数枚の冷却部9用ホットプレート5、コールドプレート21をこの順に設け、各ホットプレート5にはその上面にピン13を立設し、対向した空洞部4の内部上面に複数枚の反射板6をそれぞれ設置すると共に、上下前後左右に可動する複数本の支持金具14で1枚のガラス基板16を支持し前記各ホットプレート5及びコールドプレート21に順次載せ変えて搬送する枚葉式の搬送機構を有する熱処理装置。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の入口部と出口部とを設けた空洞部を設け、前記空洞部の内部下面に入口部から出口部へ向い単数又は複数枚の昇温部用ホットプレート、複数枚の均熱部用ホットプレート、複数枚の冷却部用ホットプレート、コールドプレートをこの順に設け、前記各ホットプレートにはその上面にピンを立設し、対向した空洞部の内部上面に複数枚の反射板をそれぞれ設置すると共に、上下前後左右に可動する複数本の支持金具で1枚のガラス基板を支持し前記各ホットプレート及びコールドプレートに順次載せ変えて搬送する枚葉式の搬送機構を有する熱処理装置であって、前記空洞部を鉛直方向に複数段積み重ね、熱処理装置の下部に設けた駆動モータで搬送駆動部を上下前後左右に駆動し、搬送駆動部に連結されたビームサポートにより各空洞部にそれぞれ設けられた搬送ビームに動きを伝え、各搬送ビームに設置された各複数本の支持金具で一枚ずつガラス基板を支持しながら各空洞部を同時に搬送することを特徴とする液晶用ガラス基板の熱処理装置。

IPC (2件)：

G02F 1/1333 500 , H05B 3/20 303

FI (2件)：

G02F 1/1333 500 , H05B 3/20 303

引用特許：

審査官引用 (6件)

連続熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-339394 出願人：株式会社デンコー
温調装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-187884 出願人：株式会社日立製作所
基板加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-268244 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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