特許
J-GLOBAL ID：200903047932665001
ポジ型感光性樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-132928
公開番号（公開出願番号）：特開2004-334089
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】現像での膜減りが少なく、かつ、高感度なポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】樹脂、ナフトキノンジアジド化合物、沸点100°C〜250°Cの溶媒1種以上を含む感光性樹脂組成物であって、前記樹脂として(ア)から(ウ)処理後の溶解速度が0.1nm/秒〜3nm/秒の範囲である樹脂を使用することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。(ア)樹脂を固形分30重量%で乳酸エチルに溶解し、(イ)6インチシリコンウェハー上に90°Cで20分のプリベーク後に膜厚1μm±0.2μmになるように形成し、(ウ)プリベーク後の膜を、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に浸漬したときの、該樹脂の2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
樹脂、ナフトキノンジアジド化合物、沸点100°C〜250°Cの溶媒1種以上を含む感光性樹脂組成物であって、前記樹脂として(ア)から(ウ)処理後の溶解速度が0.1nm/秒〜3nm/秒の範囲である樹脂を使用することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
(ア)樹脂を固形分30重量%で乳酸エチルに溶解し、
(イ)6インチシリコンウェハー上に90°Cで20分のプリベーク後に膜厚1μm±0.2μmになるように形成し、
(ウ)プリベーク後の膜を、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に浸漬したときの、該樹脂の2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/037 501
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB25
, 2H025CB26
, 2H025CB52
, 2H025CC03
, 2H025CC17
, 2H025FA17
