特許
J-GLOBAL ID：200903047989092679

非接触支持装置

発明者：
山田 大樹

山田 大樹 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-155302
公開番号（公開出願番号）：特開2006-332418
出願日： 2005年05月27日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供する。【解決手段】非接触支持装置1は、検査ステージ2及び浮上ステージ4を備え、これらの上方において略水平に搬送されるワークWを非接触にて支持する。検査ステージ2には、加圧エアを噴出する浮上パッド30と、周辺のエアを吸引する吸引パッド40とがそれぞれ複数個配置されている。これら吸引パッド40と浮上パッド30とは、ワークWの搬送方向に沿って5列ずつ互いに平行に配置されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加圧気体を噴出する噴出部と周辺の気体を吸引する吸引部との上方にワークを対向させることで、前記ワークが略水平に搬送されるに際して該ワークを非接触支持する非接触支持装置において、 前記吸引部は、前記搬送方向に沿って複数配置されるとともに、前記噴出部は、前記複数の吸引部の結ぶ線と交わらない態様にて前記搬送方向に沿って配置されてなることを特徴とする非接触支持装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  F16C 32/06
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  F16C32/06 A
Fターム (21件)：
3J102AA02 ,  3J102BA09 ,  3J102BA14 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA18 ,  3J102EA22 ,  3J102FA04 ,  3J102FA08 ,  3J102GA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA63 ,  5F031HA80 ,  5F031MA33 ,  5F031PA13
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 非接触支持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-315641   出願人：シーケーディ株式会社
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM