特許
J-GLOBAL ID：200903048024687919

加速度センサ

発明者：
長原 輝明

長原 輝明 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (3件)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-048444
公開番号（公開出願番号）：特開2004-257841
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
【課題】質量体の可動空間を密閉するキャップや半導体チップを十分に厚く形成できない場合であっても、キャップにクラックが生じにくい構造の加速度センサを提供する。【解決手段】可動空間内のキャップCAの天井面と壁面との境界部分CN1を曲面で構成する。このように境界部分CN1を曲面で構成すれば、キャップCAに応力がかかったとしても、クラックの生じやすい境界部分CN1において応力は分散され、キャップCAでのクラック発生の可能性を低くすることができる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
加速度を検出するための可動部を有する加速度検出部が形成された半導体チップ基板と、 前記可動部の可動空間を確保し、前記可動空間を密閉する、前記半導体チップ基板表面に接着されたキャップと を備え、 前記可動空間内において前記キャップは、前記半導体チップ基板表面に対向する天井面、および、前記天井面と前記半導体チップ基板表面とをつなぐ壁面を有し、前記天井面と前記壁面との境界は曲面で構成された 加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P15/08 ,  G01P15/125 ,  H01L29/84
FI (3件)：
G01P15/08 P ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z
Fターム (13件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA34 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA14 ,  4M112FA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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