特許
J-GLOBAL ID：200903048119348755
電着レジスト皮膜の露光方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315714
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142807
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 リードフレーム等の金属製品のめっきマスクとして用いられる感光性の電着レジスト皮膜の製版において、光の回り込みによる不要な電着レジスト皮膜の発生の無く、且つ、金属製品の側面部への露光を確実にできる電着レジスト皮膜の露光方法を提供する。【解決手段】 金属製品の表面部を露出させる側である第一の面側は、パターン版を金属板素材面に密着させながら金属板素材面に垂直な方向に、平行光を当てて露光する第一の露光を行うもので、第一の面に対向した第二の面側は、パターン版を用いず、拡散角を所定角度範囲内に抑えた拡散光にて、孔開きの金属製品の他面側の金属板素材面部および孔開きの金属製品の側面部を露光する第二の露光を行うものであり、且つ、第一の露光と第二の露光を互いにずらして行う。
請求項（抜粋）：
金属板素材をエッチング加工ないし打ち抜き加工により孔開け外形加工して得られた金属製品の表面部に、ネガ型の感光性の電着レジスト皮膜を電着形成し、金属製品の一面側の所定領域の電着レジスト皮膜を除去し、金属製品の表面部を露出させる電着レジスト皮膜の製版方法における、電着レジスト皮膜の露光方法であって、金属製品の表面部を露出させる側である第一の面側は、パターン版を金属板素材面に密着させながら金属板素材面に垂直な方向に、平行光を当てて露光する第一の露光を行うもので、第一の面に対向した第二の面側は、パターン版を用いず、拡散角を所定角度範囲内に抑えた拡散光にて、孔開きの金属製品の他面側の金属板素材面部および孔開きの金属製品の側面部を露光する第二の露光を行うものであり、且つ、第一の露光と第二の露光を互いに独立に行うことを特徴とする電着レジスト皮膜の露光方法。
IPC (4件)：
G03F 7/20 521
, C25D 5/02
, H01L 23/48
, H01L 23/50
G03F 7/20 521
, C25D 5/02 B
, H01L 23/48 P
, H01L 23/50 A
