特許
J-GLOBAL ID：200903048283290903
圧電体薄膜素子、これを用いたインクジェット式記録ヘッド、並びに圧電体薄膜素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-096753
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191646
出願日： 1998年03月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【目的】 良好な圧電体特性を得るための結晶配向、結晶形状、及び結晶粒径を確実に達成することができる圧電体素子を提供する。【構成】 多結晶体からなる圧電体薄膜15と、圧電体薄膜を挟んで配置される上部電極と下部電極14とを備え、下部電極の結晶粒界に圧電体の結晶の核となるチタン14Aが島状に形成されている。
請求項（抜粋）：
多結晶体からなる圧電体薄膜と、当該圧電体薄膜を挟んで配置される上部電極と下部電極と、を備えた圧電体薄膜素子であって、前記下部電極の圧電体側にこの圧電体の結晶の核となる結晶源が島状に形成されてなる圧電体薄膜素子。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/22
H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/22 Z
