特許
J-GLOBAL ID：200903048315174552

圧電振動子およびその製造方法

発明者：
岩崎 智弘

岩崎 智弘 について

, 
中塚 宏

中塚 宏 について

, 
大西 慶治

大西 慶治 について


出願人/特許権者：
パナソニック株式会社

パナソニック株式会社 について


代理人 (4件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  和田 充夫 ,  稲葉 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-301114
公開番号（公開出願番号）：特開2009-130478
出願日： 2007年11月21日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】周波数調整における結合係数の劣化を低減した圧電フィルタを提供する。【解決手段】圧電体1の両主面上に第1電極と第2電極を備えて第1の圧電振動子を形成し、第3電極と第4電極を備えて第2の圧電振動子を形成する。第1の圧電振動子の周波数を調整するため、第1電極と第2電極の最表面上には、第1負荷膜と第2負荷膜が形成され、第2の圧電振動子の周波数を調整するため、第3電極と第4電極の最表面上には、第3負荷膜と第4負荷膜が形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上に形成された第1の負荷膜と、 前記第1の負荷膜上に形成された下部電極と、 前記下部電極上に設けられた圧電体と、 前記圧電体上に形成された上部電極と、 前記上部電極上に形成された第2の負荷膜と、 をそれぞれ備えた第1と第2の圧電振動子とを電気的に接続することで構成される圧電フィルタであって、 前記第1の圧電振動子の前記圧電体と、前記第2の圧電振動子の前記圧電体とは同一の圧電体のそれぞれ異なる領域であって、 前記第1の圧電振動子と前記第2の圧電振動子のそれぞれの前記第1の負荷膜と前記第2の負荷膜とによって前記第1と第2の圧電振動子の共振周波数を調整し、前記第1と第2の圧電振動子の共振周波数を異ならせたことを特徴とする圧電フィルタ。
IPC (7件)：
H03H 9/54 ,  H03H 9/17 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/70 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (9件)：
H03H9/54 Z ,  H03H9/17 F ,  H03H3/02 C ,  H03H9/70 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 K ,  H01L41/18 101Z
Fターム (21件)：
5J108AA02 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108DD06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108HH04 ,  5J108HH05 ,  5J108HH06 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK01 ,  5J108KK03 ,  5J108KK05 ,  5J108MM04 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM