特許
J-GLOBAL ID：200903069099459331
薄膜バルク共振子、薄膜バルク共振子フィルタ、および薄膜バルク共振子の製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-027590
公開番号（公開出願番号）：特開2005-223479
出願日： 2004年02月04日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：
【課題】 Q値を高くできる薄膜バルク共振子フィルタを提供する。 【解決手段】 第1の共振周波数を有する第1の薄膜バルク共振子11と、第2の共振周波数を有する第2の薄膜バルク共振子12とを同一基板上に形成した薄膜バルク共振子フィルタであって、基板1と、第1の下部電極層3および第2の下部電極層4との間に、第1の下地層2および第2の下地層131とを有し、第1の下地層2の厚さと、第2の下地層131の厚さとが異なる構造とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
空洞を有する基板と、
前記空洞を被覆するように前記基板上に形成された下地層と、
前記下地層上に形成された下部電極層と、
前記下部電極層上に形成された圧電層と、
前記圧電層上に形成された上部電極層とを具備して成り、
前記空洞部上の前記下地層の厚さにより共振周波数を調整可能な構造であることを特徴とする薄膜バルク共振子。
IPC (6件)：
H03H9/54
, H03H3/02
, H03H3/04
, H03H9/02
, H03H9/17
, H03H9/70
H03H9/54 Z
, H03H3/02 C
, H03H3/04 B
, H03H9/02 M
, H03H9/17 F
, H03H9/70
5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108CC11
, 5J108MM11
, 5J108MM14
, 5J108NA04
, 5J108NB06
出願人引用 (8件)
-
共振器の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-057362
出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
-
共振器の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-057361
出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
-
共振器の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-057312
出願人：アジレント・テクノロジーズ・インク
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る
